制造带电粒子检测器的方法
发布时间：2025-12-12 16:17:27 人气：1
制造带电粒子检测器的方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202010686356.0
申请日：
2020-07-16
授权公告号：
CN112242284B
授权公告日：
2025-12-12
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/244
分类号：
H01J37/244;H01J37/26
国省代码：
US0OR000
页数：
16
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
周学斌;申屠伟进
优先权：
2019-07-16 EP 19186447.9
主权项：
1.一种制造直接带电粒子检测器的方法,其包括以下步骤：-提供传感器设备,其中,所述传感器设备包括衬底层、敏感层和在所述敏感层的顶部上的钝化层；-提供机械支撑层,并且以下面这样的方式将所述机械支撑层连接到所述钝化层,该方式为敏感层位于所述衬底层与所述机械支撑层之间；以及-使所述衬底层减薄以用于形成所述带电粒子检测器；其中所述钝化层包括用于读出由敏感层中的传入电子感应的信号的电子器件和互连,并且包括：第一子层,第一子层包含比所述敏感层重掺杂的阱；以及第二子层,第二子层包括氧化物和金属层,并且其中所述机械支撑层包括碳。
摘要：
本发明涉及一种制造带电粒子检测器的方法,其包括以下步骤：提供诸如有源像素传感器(APS)之类的传感器设备。所述传感器设备至少包括衬底层和敏感层。该方法进一步包括以下步骤：提供机械支撑层并且将所述机械支撑层连接到所述传感器设备。在连接之后,敏感层位于所述衬底层与所述机械支撑层之间。通过连接机械支撑层,有可能减薄所述衬底层以用于形成所述带电粒子检测器。机械支撑层形成制造的检测器的一部分。该检测器可以被用于带电粒子显微镜,诸如用于进行直接电子检测的透射电子显微镜。
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科技成果
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