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相位调制器设备和方法

发布时间:2025-11-25 12:36:02 人气:1

相位调制器设备和方法

专利类型:

发明授权

申请(专利)号:

CN202010831010.5

申请日:

2020-08-18

授权公告号:

CN112394541B

授权公告日:

2025-11-25

申请人:

意法半导体(克洛尔2)公司

地址:

法国克洛尔

发明人:

S·克勒梅; F·伯夫; S·蒙弗莱

专辑:

工程科技Ⅱ辑

专题:

仪器仪表工业

主分类号:

G02F1/00

分类号:

G02F1/00;G02F1/29;G02B6/12

国省代码:

FR0ISCLL

页数:

24

代理机构:

北京市金杜律师事务所

代理人:

董莘

优先权:

2019-08-19 FR 1909284

主权项:

1.一种用于制造相位调制器的方法,包括以下步骤:a)由第一材料形成波导,所述波导被配置为引导光学信号,所述波导具有与绝缘层相邻的第一侧、与所述第一侧垂直的第二侧和第三侧、以及与所述第一侧平行的第四侧;以及b)形成由第二材料制成的层,所述第二材料是导电的、并且对所述光学信号的波长透明,步骤a)和b)被实现,使得由所述第二材料制成的所述层被设置在所述波导的所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧和所述第四侧之上,其中所述第二材料与所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧、所述第四侧直接接触,或者其中所述第二材料与所述第一侧、所述第二侧、所述第三侧、所述第四侧分隔开的距离小于所述光学信号的所述波长的一半。

摘要:

本公开的实施例涉及相位调制器设备和方法,该方法包括以下步骤:a)由第一材料形成波导,波导被配置为引导光学信号;b)形成由第二材料制成的层,第二材料是导电且对光学信号的波长透明,步骤a)和b)被实现为使得由第二材料制成的层与波导的面中至少一个面接触,或使得由第二材料制成的层与面中至少一个面分隔开一距离,该距离小于光学信号波长的一半、优选小于四分之一。本申请进一步涉及特别是通过这样的方法获得的相位调制器。

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