用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法
发布时间：2025-11-21 12:40:35 人气：1
用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202110187252.X
申请日：
2021-02-18
授权公告号：
CN113281260B
授权公告日：
2025-11-21
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
M·库伊珀; M·R-J·沃斯; O·L·沙涅尔; P·戈登多普
专辑：
工程科技Ⅰ辑
专题：
材料科学
主分类号：
G01N21/17
分类号：
G01N21/17;G01N21/21;G01B11/06
国省代码：
US0OR000
页数：
16
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
邹松青;王丽辉
优先权：
2020-02-19 EP 20158152.7
摘要：
本发明涉及一种用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法。所述样品包括嵌入基质层内的试样。所述装置包括：光源,其被布置成用于将光束导向所述样品；以及检测器,其被布置成用于响应于所述光束入射到所述样品上而检测从所述样品发射的光。最后,所述装置包括控制器,所述控制器连接到所述检测器,并且被布置成基于由所述检测器接收到的信号来确定所述基质层的特性。
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[1] 用于确定待在带电粒子显微镜中使用的样品的特性的装置和方法. M·库伊珀;M·R-J·沃斯;O·L·沙涅尔;P·戈登多普.中国专利:CN113281260A,2021-08-20
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