对准带电粒子束设备的方法
发布时间：2025-10-21 11:24:42 人气：15
对准带电粒子束设备的方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202110879678.1
申请日：
2021-08-02
授权公告号：
CN114068270B
授权公告日：
2025-10-21
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
M·卡普伦克; R·朔恩马克尔斯; O·卡布伦克; O·马切克
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/21
分类号：
H01J37/21;G06N3/0464
国省代码：
US0OR000
页数：
19
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张凌苗;陈岚
优先权：
2020-08-03 EP 20189256.9
主权项：
1.一种对准带电粒子束设备的方法,其包含以下步骤：-提供处于第一对准状态的带电粒子束设备；-由处理单元使用对准算法来实现从所述带电粒子束设备的所述第一对准状态向第二对准状态的对准转换；-将与所述对准转换相关的数据提供给修改算法来修改所述对准算法以便使用修改后的对准算法来实现修改后的对准转换；其中所述第一对准状态和所述第二对准状态是描述用于实行所述带电粒子束设备的预期用途的所述带电粒子束设备的一个或多个参数和操作的状态；其中与所述对准转换相关的所述数据包括所述带电粒子束设备的设置、速度、定时和/或校准结果；其中所述修改算法是用于训练神经网络的训练算法并且所述对准算法是被布置成用于推断对准动作的顺序的可训练的决策算法。
摘要：
本公开涉及一种对准带电粒子束设备的方法,其包含以下步骤：提供处于第一对准状态的带电粒子束设备；由处理单元使用对准算法来实现从所述带电粒子束设备的所述第一对准状态向第二对准状态的对准转换；以及将与所述对准转换相关的数据提供给修改算法来修改所述对准算法以便实现修改后的对准转换。
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