用于电子显微镜的导光组件
发布时间：2025-08-12 12:53:42 人气：12
用于电子显微镜的导光组件
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202010967585.X
申请日：
2020-09-15
授权公告号：
CN112509897B
授权公告日：
2025-08-12
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/29
分类号：
H01J37/29;H01J37/147
国省代码：
US0OR000
页数：
14
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张凌苗;申屠伟进
优先权：
2019-09-16 EP 19197530.9
主权项：
1.一种电子显微镜系统,其包括：电子柱极靴；和导光组件,其有效耦合至所述电子柱极靴,并包括一个或多个检测器,以及反射镜,其包括限压孔,来自电子源的电子束穿过所述限压孔,其中,所述反射镜被配置为反射光,收集反向散射电子和次级电子,并且将所述反向散射电子转换为次级电子。
摘要：
用于电子显微镜的导光组件。本公开描述了包括有效耦合在一起的电子柱极靴和导光组件的电子显微镜系统的实施例。该导光组件还包含一个或多个检测器,以及具有限压孔的反射镜,来自电子源的电子束穿过该限压孔。所述反射镜还被配置为可以反射光以及收集反向散射的电子和次级电子。
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科技成果
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