用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法
发布时间：2025-07-29 13:00:36 人气：14
用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN201911094754.7
申请日：
2019-11-11
授权公告号：
CN111243928B
授权公告日：
2025-07-29
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/26
分类号：
H01J37/26;H01J37/28;G01N23/04;G01N23/046;G01N23/207;G01N23/2251
国省代码：
US0OR000
页数：
16
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
周学斌;刘春元
优先权：
2018-11-12 EP 18205673.9
主权项：
1.一种确定带电粒子显微镜的像差的方法,所述方法包括以下步骤：提供带电粒子显微镜,其中所述带电粒子显微镜至少部分地由用户操作；用所述带电粒子显微镜获得图像数据集合；处理所述图像数据集合,以确定所述带电粒子显微镜的像差；其特征在于：所述图像数据集合由所述用户在专用使用所述带电粒子显微镜期间获得；且所述处理步骤在所述专用使用期间进行。
摘要：
本发明涉及一种确定带电粒子显微镜的像差的方法。所述方法包括提供带电粒子显微镜的步骤,所述带电粒子显微镜至少部分地可由用户操作。然后,用所述带电粒子显微镜获得图像数据集合。处理图像数据以确定所述带电粒子显微镜的像差。根据本发明,所述图像数据集合由用户主动获得。具体地说,所述图像数据可以在显微镜由用户正常操作期间获得,所述正常操作可以包含显微镜导航和/或聚焦。因此,图像数据集合由所述用户采集,而不由所述显微镜的控制器采集。这允许后台处理像差和使用所述带电粒子显微镜期间的像差校正。本发明还涉及一种并入所述方法的带电粒子显微镜。
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[10] 用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法. L.图玛.中国专利:CN111243928A,2020-06-05
本领域科技成果与标准
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