检测破坏集成电路的完整性的企图的方法及集成电路
发布时间：2025-07-08 16:18:19 人气：16
检测破坏集成电路的完整性的企图的方法及集成电路
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202010397652.9
申请日：
2020-05-12
授权公告号：
CN111933584B
授权公告日：
2025-07-08
申请人：
地址：
法国鲁塞
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01L23/00
分类号：
H01L23/00;G01R31/28;G06F21/75
国省代码：
FR0HARST
页数：
14
代理机构：
北京市金杜律师事务所
代理人：
董莘
优先权：
2019-05-13 FR 1904942
主权项：
1.一种用于检测破坏集成电路的完整性的企图的方法,所述集成电路包括仅掺杂有第一导电类型的并且具有正面和背面的半导体衬底,所述方法包括：检测所述半导体衬底从所述背面的变薄,其中检测所述变薄包括：第一测量位于所述正面上的第一触点、位于所述正面上的第二触点、以及位于所述背面上的导电晶片之间的所述半导体衬底的电阻值,其中所述第一触点和所述第二触点彼此间隔开,并且其中所述导电晶片与所述半导体衬底的背面直接电连接。
摘要：
公开了检测破坏集成电路的完整性的企图的方法及集成电路。集成电路包括半导体衬底。半导体衬底具有正面和背面。彼此间隔开的第一触点和第二触点位于正面上。导电晶片位于背面上。检测电路被配置为检测衬底从背面的变薄。检测电路包括测量电路,该测量电路对所述至少一个第一触点、所述至少一个第二触点和所述导电晶片之间的衬底的电阻值进行测量。响应于所测量的电阻值检测到变薄。
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科技成果
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