电光调制器及其形成方法
发布时间：2024-05-14 11:22:45 人气：0
电光调制器及其形成方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN201910816684.5
申请日：
2019-08-30
授权公告号：
CN110873972B
授权公告日：
2024-05-14
申请人：
地址：
法国克洛尔
发明人：
专辑：
工程科技Ⅱ辑
专题：
仪器仪表工业
主分类号：
G02F1/035
分类号：
G02F1/035;G02F1/017
国省代码：
FR0ISCLL
页数：
12
代理机构：
北京市金杜律师事务所
代理人：
王茂华
优先权：
2018-08-31 FR 1857846
主权项：
1.一种电光调制器,包括：波导,被配置为在第一方向上传输光,所述波导包括：第一主表面和与所述第一主表面相对的第二主表面,被设置在所述波导中的腔体,其中所述腔体具有相对于所述波导的所述第二主表面的法线倾斜的侧壁,其中所述腔体在横向于所述第一方向的第二方向上穿过所述波导,以及其中所述腔体被填充有多个量子阱,所述多个量子阱包括通过外延沉积过程形成的第一量子阻挡层和第二量子阱层的交替层。
摘要：
本公开涉及电光调制器及其形成方法。在一个实施例中,电光调制器包括波导,波导具有第一主表面和与第一主表面相对的第二主表面。腔体被设置在波导中。多个量子阱被设置在腔体中。
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期刊共4条
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