复合型SEM-CL和FIB-IOE显微术
发布时间：2023-11-07 12:59:14 人气：8
复合型SEM-CL和FIB-IOE显微术
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN201811586279.0
申请日：
2018-12-24
授权公告号：
CN109979793B
授权公告日：
2023-11-07
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/26
分类号：
H01J37/26;H01J37/22
国省代码：
US
页数：
25
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张凌苗;申屠伟进
优先权：
2017-12-27 US 62/610886
主权项：
1.一种显微术系统,其包含：离子束源,其配置成沿离子束轴在样本位置处产生并聚焦离子束,其中离子束在到达样本位置之前穿过反射器；以及电子束源,其配置成沿电子束轴在所述样本位置处产生并聚焦电子束,其中电子束在到达样本位置之前穿过反射器；其中反射器定位于所述样本位置与所述离子束源和所述电子束源之间,所述反射器进一步成形为接收在所述样本位置处的样本发射的光,所述光由所述样本与所述离子束或所述电子束之间的相互作用产生,所述反射器进一步成形为将所述光反射到光检测系统。
摘要：
复合型SEM-CL和FIB-IOE显微术。本文公开了使用复合扫描电子显微镜-阴极发光(SEM-CL)显微术和聚焦离子束-离子诱导光学发射(FIB-IOE)显微术的显微镜系统进行显微术的示例性实施例。某些实施例包含：以第一显微术模式操作显微术系统,其中电子束在样本位置处与样本相互作用并且引起第一模式光子和电子发射,所述第一模式光子包括通过阴极发光过程产生的光子；以及,以第二显微术模式操作显微术系统,其中离子束与在所述样本位置处的样本相互作用并且引起第二模式光子发射,所述第二模式光子包括通过离子诱导发光过程产生的光子以及通过原子去激发过程产生的光子。
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[1] 复合型SEM-CL和FIB-IOE显微术. M.马祖兹;G.格莱德修;G.布德尼克;J.菲勒维茨.中国专利:CN109979793A,2019-07-05
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