带电粒子束源
发布时间：2023-05-31 09:53:57 人气：14
带电粒子束源
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202110305667.2
申请日：
2021-03-23
授权公告号：
CN113451092B
授权公告日：
2023-05-30
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/065
分类号：
H01J37/065;H01J37/15;H01J37/26
国省代码：
US
页数：
22
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
张凌苗;周学斌
优先权：
2020-03-24 US 16/828571
主权项：
1.一种带电粒子束源,其包括：导电支撑构件,所述导电支撑构件耦合到底座；安装构件,所述安装构件耦合到所述支撑构件并且限定孔,所述安装构件进一步包括开口,所述开口是限定在与所述孔连通的所述安装构件的侧壁中的通道,所述通道在朝向所述支撑构件的方向上从所述安装构件的自由端偏移；以及发射器构件,所述发射器构件接纳在所述孔中且通过围绕所述孔中的所述发射器构件流动的固定剂材料层保持,其中所述固定剂材料层的固定剂材料接纳在所述通道中。
摘要：
一种例如在电子显微镜中使用的带电粒子束源可包含：导电支撑构件,其联接到基座；安装构件,其联接到所述支撑构件且限定孔；以及发射器构件,其收纳在所述孔中且通过围绕所述孔中的所述发射器构件流动的固定液材料层保持。
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