用于对高反应性材料执行样品提取的系统和方法
发布时间：2026-02-17 15:15:20 人气：0
用于对高反应性材料执行样品提取的系统和方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202211742660.8
申请日：
2022-12-30
授权公告号：
CN116380951B
授权公告日：
2025-12-19
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
A·斯托克斯; C·巴格; B·范里尔; V·布罗登; 焦成革; L·李; D·唐内特
专辑：
工程科技Ⅰ辑
专题：
材料科学
主分类号：
G01N23/20008
分类号：
G01N23/20008;G01N1/28;G01N23/046;G01N23/203;G01N23/20058
国省代码：
US0OR000
页数：
26
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
周学斌;吕传奇
优先权：
2021-12-31 US 17/566894
主权项：
1.一种用于在带电粒子显微镜系统内执行样品提取和保护盖放置的方法,所述方法包括：在支撑结构中制备嵌套空隙,其中制备所述嵌套空隙包括研磨掉所述支撑结构的体积；将样品的至少一部分转移到所述嵌套空隙中；以及从限定所述嵌套空隙的所述支撑结构的区域研磨材料,使得从所述支撑结构研磨的所述材料中的至少一些再沉积以在所述样品和所述支撑结构的剩余部分之间形成附着结合。
摘要：
本文公开了用于在带电粒子显微镜系统内对高反应性材料执行样品提取和保护盖放置的方法和系统。所述方法包含在支撑结构中制备嵌套空隙；将样品的至少一部分转移到所述嵌套空隙中；以及研磨来自限定所述嵌套空隙的所述支撑结构的区域的材料。研磨来自所述支撑结构的所述区域的所述材料使得所述被去除的材料中的至少一些重新沉积以在所述样品和所述支撑结构的剩余部分之间形成附着结合。在各种实施例中,然后可以使用对所述样品的连续切片断层扫描、对所述样品的增强型可插入背散射检测器(CBS)分析和对所述样品的电子背散射衍射(EBSD)分析中的一者或多者来研究所述样品。
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[1] 用于对高反应性材料执行样品提取的系统和方法. A·斯托克斯;C·巴格;B·范里尔;V·布罗登;焦成革;L·李;D·唐内特.中国专利:CN116380951A,2023-07-04
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