在多束扫描电子显微镜下校正一阶像散和一阶畸变的方法
发布时间：2026-03-17 11:17:05 人气：1
在多束扫描电子显微镜下校正一阶像散和一阶畸变的方法
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202210325297.3
申请日：
2022-03-30
授权公告号：
CN115497794B
授权公告日：
2026-01-27
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/28
分类号：
H01J37/28;H01J37/26
国省代码：
US0OR000
页数：
23
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
钟茂建;陈岚
优先权：
2021-03-31 US 63/169060;2021-03-31 US 63/169064
主权项：
1.一种设备,其包含：电子源,所述电子源经耦接以提供电子束；孔板,所述孔板包含孔阵列,所述孔板经布置以从所述电子束形成电子小束阵列；电子柱,所述电子柱包括多个透镜以及第一消像散器和第二消像散器,所述电子柱经耦接以将所述电子小束阵列导向样本,其中所述第一消像散器和所述第二消像散器经布置和激励以校正像散和线性畸变两者,其中第一消像散器布置在聚光透镜的平面中,并且第二消像散器布置在物镜和处于所述物镜和聚光透镜之间的透镜之间的中间,并且其中所述电子柱由于多个透镜而形成：至少一个个别束交叉平面,其中所述电子束中的每个电子束形成所述电子源的中间图像,所述至少一个个别束交叉平面出现在物镜和聚光透镜之间的透镜的平面中,以及至少一个单一公共束交叉平面,其中阵列中的电子束彼此交叉,所述至少一个单一束交叉平面出现在聚光透镜的平面中。
摘要：
在多束扫描电子显微镜下校正一阶像散和一阶畸变的方法。本发明公开了一种用于校正像散和线性畸变两者的实例多束扫描电子显微镜(MB-SEM),其至少包括：经耦接以提供电子束的电子源；包含孔阵列的孔板,所述孔板经布置以从所述电子束形成电子小束阵列；和包括多个透镜以及第一消像散器和第二消像散器的电子柱,所述电子柱经耦接以将所述电子小束阵列导向样本,其中所述第一消像散器和所述第二消像散器经布置和激励以校正像散和线性畸变两者。
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期刊共2条
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