用于洛伦兹电子显微镜的校正器转移光学器件
发布时间：2026-03-24 11:18:17 人气：1
用于洛伦兹电子显微镜的校正器转移光学器件
专利类型：
发明授权
申请(专利)号：
CN202010721772.X
申请日：
2020-07-24
授权公告号：
CN112309811B
授权公告日：
2026-01-27
申请人：
FEI 公司
地址：
美国俄勒冈州
发明人：
专辑：
信息科技
专题：
无线电电子学
主分类号：
H01J37/26
分类号：
H01J37/26;H01J37/22;H01J37/20
国省代码：
US0OR000
页数：
23
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
周学斌;申屠伟进
优先权：
2019-07-25 US 16/522415
主权项：
1.一种带电粒子显微镜,其被配置为当处于第一配置时在正常操作模式下操作,而当处于第二配置时在洛伦兹操作模式下操作,所述带电粒子显微镜包含：带电粒子源,所述带电粒子源被配置为向样品发射带电粒子束；样品保持器,所述样品保持器被配置为保持所述样品；校正器,所述校正器用于校正轴向像差；洛伦兹透镜,所述洛伦兹透镜位于所述校正器和所述样品保持器之间；物镜,所述物镜在所述洛伦兹透镜和所述样品保持器之间；并且所述带电粒子显微镜被配置为使得所述带电粒子显微镜还包括：第一转移透镜,所述第一转移透镜位于所述校正器和所述洛伦兹透镜之间；第二转移透镜,所述第二转移透镜位于所述校正器和所述第一转移透镜之间；并且其中所述带电粒子显微镜被配置为其在标准操作模式下操作的第一配置和其在洛伦兹模式下操作的第二配置之间切换,其中当带电粒子显微镜在洛伦兹操作模式下操作时,第二转移透镜被配置为使得洛伦兹透镜中带电粒子束的轴向光线的位置比当带电粒子显微镜在标准操作模式下操作时更远离洛伦兹透镜的中心。
摘要：
本文公开了跨多种操作模式具有优化性能的带电粒子显微镜。更具体地,本公开包括改进的带电粒子显微镜,其在标准操作和洛伦兹操作模式两种模式下均提高和/或优化所述显微镜的所述性能。所述带电粒子显微镜在校正器和传统转移透镜之间包括额外的转移透镜,这允许在所述标准操作模式和所述洛伦兹操作模式下灵活地优化性能。举例来说,在所述洛伦兹操作模式下,根据本公开的改进的带电粒子显微镜可用来调谐C-5-5像差,同时几乎不影响散焦和/或C-S-S像差。另外,额外的转移透镜为本文公开的带电粒子显微镜提供了额外的自由度,用所述额外的自由度将散焦和总的C-S-S和C-5-5归零。
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